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| 번호 | 제목 | 작성자 | 등록일 | 조회수 |
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| 55 | 반도체와 정전기 관련 | 한동철 | 2003-09-25 | 1969 |
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안녕하세요? 반도체 package공정에서 발생하는 정전기에 대해 궁금한것이 있어 글을 남깁니다. 저희 현업에서 tape와 roller등과의 마찰로 인해 불가피하게 존재하는 정전기를 제거하기 위해 귀사의 ionizer를 다수 사용하고 있습니다. 그런데 노후된 설비의 경우 ionizer가 정상적으로 동작을 하고 있는지 확인하는 방법으로는 driver를 이용하여 arc의 존재유/무를 파악하는 정도에 그치고 있습니다. 육안상 불꽃의 강도를 측정하는 것만으로는 정확한 측정이 이루어 질 수 없다고 판단이 됩니다. 또한 실제로 정상적으로 작동하는 ionizer라 하더라도 type이 잘못된 탓인지 실제적인 효과를 발휘하지 못하는 수도 있을것 같구요. 저희처럼 반도체 wafer를 다루는 설비에 적합한 ionizer model도 알려 주시면 감사하겠습니다. 또한 반도체 공정에서 정전기 측정시 최고 상한치 전압도 알고계시면 가르쳐 주시면 감사하겠습니다. 그리고 어떤 ionizer는 작동시 매스꺼운 오존 냄새가 나는 것들이 있는데, 정상적인 현상인지도 궁금합니다. 아무쪼록 환절기에 건강 조심하시고 귀사의 무궁한 발전을 기원합니다. 빠른 답변 기다리겠습니다. |
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