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INB정전기산업 자유게시판
번호
제목
작성자
등록일
조회수
118
장비에 적용할 IONIZER 문의
이호룡
2005-03-07
1848
안녕하십니까?
ETCH 장비를 다루고 있는 문의자입니다. 다름이 아니라 정전기로 인하여
wafer가 깨지는 현상이 발생하고 있습니다, IONIZER이 장비에 달려 있지는 않아 외부에서 Chamber내 정전기 발생을 억제 할 수 있는 IONIZER를 문의 드립니다.
답장 부탁드립니다.
