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| 번호 | 제목 | 작성자 | 등록일 | 조회수 |
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| 117 | 장비에 적용할 IONIZER 문의 | 관리자 | 2005-03-08 | 1965 |
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안녕하십니까? ETCH 장비를 다루고 있는 문의자입니다. 다름이 아니라 정전기로 인하여 wafer가 깨지는 현상이 발생하고 있습니다, IONIZER이 장비에 달려 있지는 않아 외부에서 Chamber내 정전기 발생을 억제 할 수 있는 IONIZER를 문의 드립니다. 답장 부탁드립니다. --------------------------------------------------------------- [답변내용] 안녕하세요 귀사의 챔버에 이온아이져를 부착할수 있는 공간이 있을겁니다 밖에서는 적절하지가 않고요 챔버네에서 설치하여 (이온블로워 또는압공식 바를) 사용해야 됩니다 동종의 타회사에서는 챔버내에서 설치 사용하고 있습니다 감사합니다 |
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